La salle blanche (140 m², ISO 7 ou classe 10000) est une infrastructure, localisée au premier sous-sol du bâtiment (LS178), qui rassemble en son sein tous les équipements dédiés à la croissance, à la structuration et à la caractérisation de la matière à des échelles micro et nanométriques.
Ces technologies sont, après une période de formation, accessibles à l’ensemble des membres du laboratoire, ainsi qu’aux start-up.
Les « savoirs-faire » de la plateforme s’articulent autour des thématiques fortes du LPENS, à savoir la fabrication de dispositifs quantiques performants à base de matériaux carbonés (1D et 2D), supraconducteurs (Al, Nb, Ta) et III-V. A ce titre la plateforme a développé une expertise reconnue dans la fabrication et la caractérisation d’hétérostructures à base de matériaux bidimensionnels et en croissance CVD de nanotubes de carbone.
Technologies
Les équipements de la salle blanche sont divisés en 5 pôles :
Lithographies électroniques (résolution d’écriture 10 nm), lithographies laser et UV (résolution 1μm). Plus d’infos …
Gravure plasma réactive fluorée (RIE), évaporation par effet Joule (Cr, Au, Al, …), évaporation par canon à électron (Au, Ti, Pd, …), dépôt d’oxydes (ALD : Al2O3, HfO2, TiO2 et ZnO) et pulvérisation cathodique (Nb, Ta, …). Plus d’infos …
Four CVD pour les recuits et la synthèse de nanotubes de carbone et un stamper pour les matériaux 2D utilisé pour la fabrication d’hétérostructures de type Van der Waals. Plus d’infos …
AFM, profilomètre mécanique, spectromètre Raman et réflectomètre optique. Plus d’infos …
Scie diamantée et micro-cliveuse. Plus d’infos …
Consortium GPNP
La salle blanche du département de physique est également membre du « Groupement des Plateformes de micro et Nano-technologies de Paris » (GPNP, anciennement «Centrale de Proximité Paris Centre»).
Ce consortium mutualise l’offre technologique en terme de micro-nano fabrication dans Paris Centre. Il rassemble cinq instituts de recherche parisiens : l’ENS, le laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques (MPQ, Université de Paris Cité), l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP, Sorbonne Université), le Laboratoire d’étude de l’Univers et des phénomènes eXtrêmes (LUX, Observatoire de Paris) et l’Institut Pierre-Gilles de Gennes (IPGG). Tous les membres du consortium ont accès à l’ensemble des salles blanches de ce réseau.
Ce consortium fait partie du réseau national RENATECH+.
Membres de l’équipe
Les pages web personnelles des membres de l’équipe sont accessibles sur l’annuaire. Ils sont joignables par mail à salleblanche@phys.ens.fr
